化工/原料
大族激光:接近式光刻机已投入市场,步进式光刻机已启动用户优化
2023-09-16  浏览:4
大族激光在互动平台表示,目前,公司光刻机项目主要应用在分立器件领域,分辨率3-5μm;其中,接近式光刻机已投入市场,步进式光刻机已启动用户优化,公司将根据市场需求及业务发展情况持续制定研发计划,并加大研发核心部件国产化。
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